출처 : [반도체 소재] "Si3N4, SiON grown on LPCVD & PECVD" - 딴딴's 반도체사관학교 (tistory.com)
[반도체 소재] "Si3N4, SiON grown on LPCVD & PECVD"
Silicon Nitride 역시 반도체 산업에서 많이 사용되는 박막 소재입니다. Silicon nitride의 물성과 소재 그리고 각각의 공정을 통해 성장했을 때 특징에 대해서 다루어보도록 하겠습니다. ■ Silicon Nitride,
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